靳磊

       KLA-Tencor日前宣布，由Freescale Semiconductor、STMicroelectronics和Philips Semiconductors三家半导体生产商组成的300毫米生产和研发协作联盟Crolles2 Alliance已采用新型2800宽带DUV明场系统。Crolles2在其65纳米研发和90纳米生产合作中采用2800，可检测到影响成品率的关键性缺陷，而采用上一代的检测工具是无法做到这一点的。